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扫描电镜仪器结构及原理是什么?

时间:2022-06-17 浏览次数:73

  扫描电镜主要用于样品微区形貌、结构及成分的观察和分析。利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。具有高的分辨率、良好的景深以及简易的操作等优点,使其在材料学、物理学、化学、生物学、考古学、地矿学以及微电子工业等领域有广泛的应用。
  扫描电镜成像主要是利用样品表面的微区特征,如形貌、原子序数、化学成分、晶体结构或位向等差异,在电子束作用下产生不同强度的物理(电流)信号,使阴极射线管荧光屏上不同的区域呈现出不同的亮度,从而获得具有一定衬度的图像,常用的包括主要由二次电子(SE)信号所形成的形貌衬度像和由背散射电子(BSE)信号所形成的原子序数衬度像。
  扫描电镜仪器结构及原理是什么?
  1、产生高能电子束的镜筒,包括:电子枪、电磁透镜和扫描线圈;
  2、接收并处理各种电子信号的成像系统:扫描信号发生器、探测器、扫描放大器、电子信息处理器和监控器;
  3、记录电子图像的信息记录系统:摄像头、图像分析器和记录设备;
  4、作为电子束与样品作用载体的真空系统:样品室、真空阀门、机械泵、油扩散泵、离子泵和真空检测装置;
  5、调控扫描电子显微镜外部环境的电源系统:不间断电源、变压器、稳压器、安全控制线路和独立地线。

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